旧金山7月17日电 /新华美通/ -- SEMICON WEST（美国西部半导体设备展览会）——SAFC(R) Sigma-Aldrich Group (Nasdaq: SIAL) 旗下 SAFC(R) 的业务部门 SAFC Hitech(TM) 今天公布了其新的化学品5年发展新路线图的详细内容。这份蓝图对硅半导体基片上的有机金属化学气相沉积 (Metalorganic Chemical Vapor Deposition, MOCVD) 法和原子层沉积 (Atomic Layer Deposition, ALD) 制程工艺进行了勾画。
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SAFC Hitech 的这份新蓝图坚持了《国际半导体技术发展路线图》(International Technology Roadmap for Semiconductors, ITRS) 的纲领，涉及众多半导体层的广泛的材料开发内容。开发的这些材料包括用于逻辑存储设备的高介电常数介电材料、更多功能的存储器架构、动态随机存储器 (DRAM) 或闸极堆叠、阻隔层、配线以及低介电常数材料。
SAFC Hitech 总裁 Barry Leese 评论说：“随着硅半导体行业从65纳米节点发展到45纳米、32纳米甚至更小的节点，对硅设备的电物理学的需求要求进行新化学物质的开发。我们认为半导体市场即将进入‘化学时代’，在材料上的不断发展是支持未来技术节点的关键。正如我们的发展路线图所显示的那样，通过生产众多先进的产品，SAFC Hitech 的技术实力正走在这种材料开发领域的前沿。”
SAFC Hitech 研发部门负责人 Peter Heys 博士补充说：“一直以来，金属沉积前的介电质层使用的都是氧化硅和其他‘传统’材料。我们正在对该行业进行的探索就是要尝试化学元素周期表中的更多元素，使用先前没有尝试过的元素来开发新材料。我们已经在生产过程中使用了氧化铝、氧化铪、硅酸铪、氧化锆和复合稀土氧化物等氧化物和二元氧化物。这些金属氧化物的介电常数很高，如果该行业仍以符合摩尔定律的速度发展，那么在接下来几年中，这些金属氧化物将继续得到广泛的开发使用。”
Heys 博士表示：“在该新发展路线图的实施过程中，SAFC Hitech 将推出用于硅半导体制造的更复杂的高介电常数氧化物，如基于铪锆的材料层，这种材料层的灵活性更佳，能掺入其它如硅、氮、铝、镧和钇等材料来满足客户的个性化需求，创造出满足特殊装置设计功能要求的材料层。以外，对稀土和锶化学材料、二元金属和复合金属氧化物或氧化物的迭代等的研发将能帮助生产出未来技术节点所需的50以上介电常数的材料。”
Barry Leese 总结说：“展望未来，将成为高介电常数介质的关键材料是那些拥有合适的物理化学特性的材料，它们能满足或超过所有设备架构的沉积性能所需的要求。这些材料将具有适当的电学性质，而且对消费者来说的成本也应该在能接受的范围之内。我们的新发展路线图，加上我们经验丰富的研发团队、卓越的战略合作伙伴和全球化的业务规模使我们有能力来充分满足该市场的需求和预期。”
欲知详情，请在 Semicon West 期间来访 SAFC Hitech（Gateway Hall 的3618号摊位），或登陆 http://www.safchitech.com 。
SAFC Hitech 简介
SAFC Hitech(TM) 提供一种特有的化学服务，致力于在全球将应用科学概念转化为高性能的材料产品。凭借合作伙伴关系以及一套从研发、制程开发和扩大生产直至大规模商业化生产的一体化方法，SAFC Hitech 在能满足当前和未来的技术需求的创新和制造领域不断地进行投资。
SAFC 简介
SAFC(R) 是 Sigma-Aldrich 旗下的定制制造和服务部门，致力于面向高科技应用产品的高纯度化学物质、面向生物制药的细胞培养产品和服务、生化生产、以及活性药物成分 (API) 和关键中间体的复杂多步骤的有机合成。SAFC 的工厂遍布全球，致力于为一些需要可靠合作伙伴的企业提供制造服务，生产他们定制的原料。SAFC 有四个运营部门 -- SAFC Pharma(TM)、SAFC Supply Solutions(TM)、SAFC Biosciences(TM) 以及 SAFC Hitech(TM)，该公司2006年销售额近5亿美元。SAFC 是全球10大精细化工企业之一。
Sigma-Aldrich 简介
Sigma-Aldrich 是一家领先的生命科学及高科技企业。其生物化学和有机化学产品与工具广泛应用于科学和基因组研究、生物工艺、药物开发、疾病诊断，并用作制药以及其他高科技制造领域的关键成分。该公司的客户遍布生命科学企业、大学和政府机构、医院以及该行业的各种领域。超过100万的科学家和技术人员使用该公司的产品。Sigma-Aldrich 在36个国家运营，拥有员工7,600名，为全球提供一流的服务。该公司致力于通过其在生命科学、高科技和服务领域的领导地位加快客户的成功步伐。欲知 Sigma-Aldrich 详情，请访问其获奖网站 http://www.sigma-aldrich.com 。
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